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半导体封装测试工段废气处理工艺，必博环保助力末端达标

文章出处：原创网责任编辑：蔡作者：蔡人气：-发表时间：2026-02-16 00:00:00【大中小】

半导体封装测试工段废气的成分，与具体的封装测试工艺密切相关，主要分为三类：一是挥发性有机化合物（VOCs），来源于塑封、贴片、键合等工序，主要成分包括环氧树脂挥发物、异丙醇（IPA）、丙酮、助焊剂挥发物等，这类废气具有刺激性气味，长期接触危害人体健康，同时会影响封装测试车间的洁净度，导致芯片封装出现瑕疵；二是酸性废气，来源于电镀、蚀刻等辅助工序，主要成分包括氯化氢、硫酸雾、硝酸雾等，具有强腐蚀性，会腐蚀生产设备和测试仪器。此外，封装测试工段废气的风量较大，浓度相对较低，波动较小，适合采用“集中收集+组合处理”的工艺模式。

针对封装测试工段废气处理“风量高、浓度低、成分杂”的特点，处理工艺的核心是“集中收集、分类处理、高效净化、低成本运行”，结合不同类型废气的特性，采用“预处理+核心处理+深度净化”的组合工艺，既能实现达标排放，又能控制企业运维成本。目前，半导体封装测试工段废气处理主流工艺为“集中集气+预处理+湿式洗涤塔+沸石转轮吸附浓缩+RTO蓄热式热氧化”组合工艺，具体流程如下：

第一步，集中集气。针对封装测试工段的划片、塑封、电镀、测试等不同工序，设置专用集气罩，采用集中集气系统，将各类废气通过密闭管道收集汇总，集气罩采用全覆盖式或半包围式设计，针对划片、打磨等颗粒物排放源，采用近距离集气，收集效率可达98%以上；针对塑封、电镀等废气排放源，采用密封式集气，避免废气泄漏，集气管道根据废气类型，分别采用PP材质（酸性废气）、碳钢材质（VOCs废气）和304不锈钢材质（颗粒物废气），确保管道耐腐、耐磨。

第二步，预处理。汇总后的废气进入预处理环节，首先通过布袋除尘器或滤筒过滤器，去除废气中的颗粒物（硅屑、金属碎屑、塑封填料等），去除效率可达99%以上，避免颗粒物堵塞后续处理设备的喷嘴和吸附剂；随后，废气进入冷凝装置，通过降低温度，将部分高浓度VOCs（如异丙醇、丙酮）冷凝为液态，实现回收利用，冷凝回收率可达80%以上，既减少污染，又节约资源；预处理后的废气进入缓冲罐，稳定废气流量和浓度，为后续核心处理工艺提供稳定的进气条件。

第三步，湿式洗涤。预处理后的废气进入湿式洗涤塔，采用NaOH溶液喷淋中和，去除废气中的酸性气体（氯化氢、硫酸雾、硝酸雾等），通过两级喷淋+除雾层设计，让废气与洗涤液充分接触，发生中和反应，将酸性气体转化为无害盐类和水，酸性气体去除率可达99.5%以上；若废气中含有少量碱性气体，可在湿式洗涤塔前增加酸性洗涤塔，采用稀硫酸溶液喷淋中和，确保碱性气体去除率可达99%以上，洗涤后的废水经沉淀、过滤处理后，循环利用或达标排放，减少水资源消耗。

第四步，VOCs核心处理。去除颗粒物和酸性气体后的废气，进入沸石转轮吸附浓缩装置，沸石转轮利用其多孔结构，高效吸附废气中的低浓度VOCs，实现废气的浓缩（浓缩倍数可达20倍），吸附后的洁净气体直接排放；当沸石转轮吸附饱和后，通过高温热空气脱附，将浓缩后的高浓度VOCs送入RTO蓄热式热氧化炉，在820℃以上的高温环境下，VOCs与氧气充分反应，分解为二氧化碳和水，降解效率可达99%以上；RTO产生的余热可回收利用，用于车间供暖、预处理环节的冷凝加热或塑封工序的加热，实现节能降耗，热回收效率可达95%以上。

第五步，深度净化与排放。RTO处理后的尾气经深度过滤装置，去除其中的水雾和残留颗粒物，再经活性炭深度吸附，去除残留的少量VOCs和异味，确保废气排放浓度均低于《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）、《挥发性有机物无组织排放控制标准》（GB37822-2019）及地方环保管控要求，其中VOCs排放浓度≤20mg/m³，酸性气体排放浓度≤1mg/m³，颗粒物排放浓度≤1mg/m³，最终经15m以上高排气筒达标排放，同时配备在线监测装置，数据实时上传环保部门，满足合规要求。

必博环保作为专注半导体行业废气处理的国家高新技术企业，深耕行业16年，拥有3000+企业客户案例，具备丰富的封装测试工段废气处理经验，凭借强大的技术实力和定制化服务能力，为半导体封装测试企业提供高效、节能、合规的废气处理解决方案，助力企业实现末端达标排放。必博环保的封装测试工段废气处理方案，具有四大核心优势：一是工艺定制精准，根据企业封装测试的具体工序（如塑封、电镀、划片），精准分析废气成分、风量和浓度，定制专属处理工艺，避免“大马拉小车”，降低设备投资和运维成本；二是设备适配性强，核心设备（洗涤塔、沸石转轮、RTO、除尘器）均采用标准化生产，同时可根据企业车间布局，优化设备尺寸和安装位置，节省车间空间，设备操作便捷，运维简单；三是节能降耗显著，采用VOCs冷凝回收+RTO余热回收组合设计，最大限度回收资源和余热，降低企业能耗和生产成本，同时洗涤液循环利用，减少废水排放；四是售后保障完善，必博环保提供从现场勘察、方案设计、设备制造、安装调试到后期运维、试剂更换、吸附剂更换的全流程服务，拥有专业的运维团队，定期上门巡检，及时排查设备故障，设备质保1年，终身维护，确保系统长期稳定运行。