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半导体行业的废气有哪些，如何处理？

文章出处：原创网责任编辑：蔡作者：蔡人气：-发表时间：2024-01-18 00:00:00【大中小】

半导体行业的废气主要包括一般气体废气、含毒性物质的废气、有机废气和含有酸性/碱性物质的废气。其中，有机废气包括非甲烷总烃、氮氧化物、二氧化硫等，酸碱废气包括氨气、硫酸雾、氟化物、氯化物、氯气等。这些废气的产生主要来自半导体制造过程中的清洗、刻蚀、显影等环节。

对于这些半导体废气处理，需要根据其性质选择合适的方法，如洗涤法、吸附法、燃烧法等。同时，还需要注意控制处理效果，确保废气排放符合的相关标准。

半导体废气处理方法有多种，主要包括以下几种：

热氧化法：将废气在高温下与氧气进行反应，将有机物氧化分解为无害物质。这种方法能够高效处理废气中的有机物，但需要消耗大量的能源，同时也会产生二氧化碳等温室气体。

活性炭吸附法：利用活性炭的吸附作用去除废气中的有机物。这种方法不需要消耗能源，同时也可以回收利用吸附剂中的有机物。

化学洗涤法：通过液体自身的溶解特性，更好地捕捉沉降和溶解去除污染物，从而达到大气排放标准。这种方法是半导体行业酸碱废气治理普遍采用的主要处理方法。

吸附浓缩法：沸石转轮吸附浓缩装置主要用于有机废气的治理，特别适合于大风量、低浓度场合。对大风量、低浓度的VOCs废气，TO直燃炉一般会搭配沸石转轮使用。

焚烧处理技术：通过热氧化将有机物转化为CO2和H20。同时，焚烧对处理稳定流量和浓度的废气也是一种很好的方法。为节省燃料使用，通常还使用热交换器，回收焚烧产生的热量对进口气体进行预热。

在实际应用中，需要根据废气的种类、浓度、产生量等因素选择合适的处理方法，并注意控制处理效果，确保废气排放符合国家和地方的相关标准。

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