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光伏电池废气处理工艺-必博昆山

文章出处：原创网责任编辑：蔡作者：蔡人气：-发表时间：2025-04-16 00:00:00【大中小】

光伏电池生产过程中的废气主要来源于制绒、扩散、刻蚀、PECVD（等离子体增强化学气相沉积）等工序，成分复杂，包含酸性气体（HCl、HF）、氮氧化物（NOx）、挥发性有机物（VOCs）、硅粉颗粒物等。处理需兼顾高效净化与成本控制，以下为光伏电池废气处理综合方案：

一、废气成分及排放标准

主要污染物：

酸性气体：HCl（氯化氢）、HF（氟化氢）。

氮氧化物：NO、NO?。

VOCs：硅烷、有机溶剂残留。

颗粒物：硅粉、反应副产物。

排放要求：需满足《电池工业污染物排放标准（GB 30484-2013）》及地方标准，例如HCl≤10mg/m³，HF≤1mg/m³，NOx≤50mg/m³。

二、分段处理工艺设计

1. 预处理（除尘+降温）

布袋除尘器：拦截硅粉及大颗粒杂质，效率≥99%。

水雾喷淋塔：降温并湿润废气，避免后续设备腐蚀。

2. 酸性气体处理（HCl、HF）

碱液喷淋塔：采用NaOH或Ca(OH)?溶液中和酸性气体，反应式：

HCl + NaOH → NaCl + H?O

HF + NaOH → NaF + H?O

多级串联：二级喷淋确保去除效率>95%，pH值实时监控调整。

3. 氮氧化物处理（NOx）

选择性催化还原（SCR）：使用氨气（NH?）作为还原剂，在催化剂（钒钛系）作用下将NOx转化为N?和H?O，效率≥85%。

备用方案：臭氧氧化+碱液吸收（适用于低浓度NOx）。

4. VOCs处理

活性炭吸附+脱附催化燃烧（浓度>1g/m³时）：

吸附段去除VOCs，催化燃烧脱附气体，热效率>90%。

低温等离子体（低浓度VOCs）：通过高压电场分解有机物，需结合后续活性炭吸附确保达标。

5. 尾气排放监测

在线监测设备：实时检测HCl、HF、NOx、颗粒物浓度，超标联动报警。

三、关键设备选型

工艺环节 设备类型 技术参数

预处理 布袋除尘器 过滤风速<1m/min，压损<1000Pa

酸性气体处理 碱液喷淋塔 液气比>2L/m³，pH≥10

脱硝 SCR催化模块 空速2000-4000h?¹，温度280-350℃

VOCs处理 催化燃烧装置 贵金属催化剂，燃烧室温度300-400℃

总结：光伏电池废气处理需针对酸性气体、NOx、VOCs分段治理，优先选用成熟工艺（如SCR脱硝+碱液吸收），并结合余热回收降低运营成本。工艺设计需与产线废气特性匹配，定期检测确保长期稳定达标。

必博环保科技（昆山）有限公司多年来专注于光伏电池废气处理设计、制造和安装。必博产品有RTO蓄热焚烧、RCO蓄热催化燃烧、CO催化燃烧、TO直燃炉、有机废气处理设备、冷凝回收、防爆除尘器、酸碱废气处理、滤筒除尘器、防爆除尘器、单机除尘器、仓顶除尘器、旋风除尘器、洗涤塔、活性炭吸附箱、静电除油设备等。